清華大學(xué)精密儀器與機(jī)械學(xué)系始建立于1932年，其前身為成立于1932年的清華大學(xué)工學(xué)院機(jī)械系，五十年代院系調(diào)整為清華大學(xué)機(jī)械制造系，六十年代初又調(diào)整為精密儀器與機(jī)械系，八十年代更名為現(xiàn)今的精密儀器與機(jī)械學(xué)系。
　　目前我系有院士3人，外籍院士1人，“長江計(jì)劃”特聘教授5人，在職教授52人，副教授58人，具有博士學(xué)位者114人。
　　近年來，隨著微電子、計(jì)算機(jī)、自動控制、激光等新技術(shù)及現(xiàn)代機(jī)械設(shè)計(jì)、現(xiàn)代制造工程、現(xiàn)代控制及信息理論的發(fā)展，我系不斷突破傳統(tǒng)領(lǐng)域，更新教學(xué)內(nèi)容，使之適應(yīng)世界科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)的需要，逐步形成了機(jī)、光、電結(jié)合多學(xué)科交叉的特點(diǎn)。
　　目前，全系擁有精密儀器及機(jī)械、光學(xué)工程、機(jī)械設(shè)計(jì)及理論和機(jī)械制造及其自動化等四個(gè)全國重點(diǎn)學(xué)科，在全國一級學(xué)科評估中，儀器科學(xué)與技術(shù)、光學(xué)工程、機(jī)械工程三個(gè)一級學(xué)科均名列前茅。本系實(shí)行本科——研究生統(tǒng)籌培養(yǎng)，本科學(xué)制四年。為拓寬學(xué)生專業(yè)知識面，前兩學(xué)年為基礎(chǔ)平臺課程，第學(xué)三年按“機(jī)械工程及自動化”、“測控技術(shù)與儀器”和“微機(jī)電系統(tǒng)工程”（新增）三個(gè)專業(yè)方向選課。最后根據(jù)研究生推薦分流和選課情況核發(fā)本科畢業(yè)證書和學(xué)士學(xué)位證書。
　　全系始終把教學(xué)與人才培養(yǎng)的任務(wù)放在首位，注重德育，注重基礎(chǔ)，為適應(yīng)二十一世紀(jì)光機(jī)電工業(yè)發(fā)展的需要, 要求學(xué)生具備扎實(shí)的數(shù)學(xué)、物理和力學(xué)的基礎(chǔ)，熟練掌握外語和計(jì)算機(jī)兩門工具，學(xué)習(xí)現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造、計(jì)算機(jī)與控制、應(yīng)用電子測試與信號處理、激光應(yīng)用與光電等技 術(shù)，以及人文、管理等課程，使學(xué)生具有寬厚的基礎(chǔ)知識，并能在工程實(shí)際中綜合應(yīng)用機(jī)、光、電、控技術(shù)。在培養(yǎng)過程中十分重視加強(qiáng)工程實(shí)踐的訓(xùn)練，注重分析 問題、解決問題和創(chuàng)造能力的培養(yǎng)。積極組織學(xué)生參加工程設(shè)計(jì)、生產(chǎn)實(shí)踐、課外科技活動和全校機(jī)械設(shè)計(jì)大獎(jiǎng)賽。已舉辦的8屆全校機(jī)械創(chuàng)新設(shè)計(jì)大獎(jiǎng)賽中，每次都有本系學(xué)生獲得一等獎(jiǎng)。全系學(xué)生堅(jiān)持德智體全面發(fā)展，文體活動蓬勃開展。從95級學(xué)生開始，全系進(jìn)行“統(tǒng)籌本科--碩士培養(yǎng)計(jì)劃，優(yōu)化培養(yǎng)過程”的人才培養(yǎng)模式改革試點(diǎn)。從五十年代至今，已培養(yǎng)本科生6000余名；自1978年以來培養(yǎng)碩士生1500余名；自1985年以來培養(yǎng)博士生550余名。在近幾年的全國百篇優(yōu)秀博士論文評選中，我系5名博士生的論文獲此殊榮。
　　全系建有“摩擦學(xué)”和“精密測試技術(shù)與儀器”兩個(gè)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，“CIMS(Computer Integrated Manufacturing System）”和 “光盤”兩個(gè)國家工程研究中心以及微米納米技術(shù)研究中心、宇航技術(shù)研究中心和綠色制造中心等，還建有國家工科機(jī)械基礎(chǔ)教學(xué)示范中心，現(xiàn)代測試教學(xué)中心和創(chuàng)造性設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室等7個(gè)教學(xué)中心或基地。全系科研堅(jiān)持為國民經(jīng)濟(jì)服務(wù)和跟蹤世界科技發(fā)展前沿，每年承擔(dān)國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目、973基礎(chǔ)研究項(xiàng)目、863高技術(shù)項(xiàng)目、國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目及其它科技開發(fā)項(xiàng)目等近百項(xiàng)。早在1958年，研制了我國第1臺數(shù)控機(jī)床，與美、蘇、日并駕齊驅(qū)。60年代，研制了我國第1臺劈錐銑，為國防作出貢獻(xiàn)。70年代，研制開發(fā)了分步重復(fù)自動照相機(jī)、圖形發(fā)生器、光刻機(jī)、電子束曝光機(jī)工件臺等半導(dǎo)體設(shè)備，其中“分步相機(jī)”應(yīng)用于全國100多個(gè)廠家，受到好評；研制了多種磁盤測試儀器，促進(jìn)了我國電子工業(yè)的發(fā)展。“七五”、“八五”期間，面向大型機(jī)械制造業(yè)的大尺寸測量研究達(dá)到世界先進(jìn)水平，研制的大型電站發(fā)電機(jī)組狀態(tài)監(jiān)測與故障診斷系統(tǒng)獲國家科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)并得到推廣應(yīng)用，光/熱效應(yīng)型可直接改寫光盤技術(shù)研究獲得國家發(fā)明二等獎(jiǎng)。90年代，與自動化系、機(jī)械系等單位合作建成了我國第一個(gè)CIMS 實(shí)驗(yàn)工程中心，獲得美國制造工程師學(xué)會（SME）頒發(fā)的“大學(xué)領(lǐng)先獎(jiǎng)”；摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)研究成果達(dá)到國際先進(jìn)水平，微米、納米技術(shù)也取得了國際水平的研究成果。“七五”期間，全系獲得各種獎(jiǎng)勵(lì)32項(xiàng)。 “八五”期間，科研經(jīng)費(fèi)顯著增加，獲得國家級和 省部級獎(jiǎng)勵(lì)33項(xiàng) ，其中國家發(fā)明獎(jiǎng)：二等獎(jiǎng)1項(xiàng)，三等獎(jiǎng)2項(xiàng)，四等獎(jiǎng) 4項(xiàng)。2000年以來，已經(jīng)累計(jì)獲得國家級和省部級獎(jiǎng)勵(lì)30多項(xiàng)。根據(jù)學(xué)校“211工程”和“985工程”規(guī)劃，先進(jìn)制造技術(shù)與微米/納米技術(shù)被列為學(xué)校重點(diǎn)建設(shè)學(xué)科和新的學(xué)科生長點(diǎn)。
　　全系十分重視開展國內(nèi)外學(xué)術(shù)交流，和國外許多著名大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)保持著密切的聯(lián)系和合作，已組織召開了多次國際學(xué)術(shù)會議，主辦了多次全國性的學(xué)術(shù)會議。